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    全自动硅片旋转冲洗甩干机
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    详细信息  
     

    球探网篮球指数 www.3gfck.com 结构特点

    1. 整个甩干过程一般只需5-6分钟;
    2. 设备的外露面为进口PP板,外形美观,耐酸气腐蚀;
    3. 工作腔、旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理;
    4. 旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性;
    5. 采用特种减振器,精密减振和阻尼,保证系统的稳定;
    6. 采用了洁净化处理技术,阀门、接头和管道采用不锈钢、PFA高纯管件和聚四氟;
    7. 采用油压缸自动开门关门, 平稳安全可靠; 
    8. 采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全?;?;
    9. 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换;
    10. 顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水;
    11. 工作腔采用防静电控制。

     

    电气控制

    1. 采用PLC可编程控制器和触摸屏控制,整个过程智能化;
    2. 程序设计可靠, 速度调节、温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定、修改和保存;
    3. 采用变频技术控制转速,加减速平稳,清洗和甩干速度按工艺要求设定,并实时显示在液晶屏上;
    4. 采用电子制动,制动时间控制在15秒之内;
    5. 控制软件具有故障实时显示和报警功能;
    6. 采用了工作过程状态监控,门位置状态监控与互锁,氮气加热温度实时监控,紧急停止按钮等安全措施。


    技术参数

     

    型号 model

    半导体行业Semiconductor

    太阳能行业 Solar

    SG09

    SG13

    SG11

    SG12

    工作腔数量

    4

    4

    8

    8

    硅片规格   mm

    2.5", 3", 4", 5", 6",8"

    12"

    125,156 25片盒 

    125,156 50片盒

    旋转速度   r/min

    0-1000

    0-600

    0-900

    0-900

    氮气压力

    0.3

    去离子水压力

    0.3

    电阻率监控

    可选 optional

    氮气密封 Nitrogen seal

    有 Yes

    空/氮气烘干

    有 Yes

    氮气加热方式

    热传导 Heat exchange

    氮气加热温度

    30-120℃ PID控温 30-120℃ PID control

    辅助加热系统

    有 Yes

    腔体电化学抛光

    可选 optional

    电机驱动

    变频调速 Speed regulating by frequency conversion

    控制系统

    PLC可编程控制器 PLC

    控制显示器

    液晶触摸屏 LCD touch screen

    外型尺寸(长x宽x高)mm

    1040x1095x894

    1636X1552X1007

    1250x1296x970

    1376x1296x1007

    电源功率   kw

    5

    6

    6

    6

    电压 / 频率

    AC380V 50HZ (三相四线)  / AC380V 50HZ (3-phase)

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